P-08 超細微氣膠粒子收集裝置開發及效率測試

論文摘要

發表人：潘怡宣

共同發表人：劉益宏, 傅碧汝, 林芳新*

工業技術研究院奈米與半導體產業計量研究室

P-08 超細微氣膠粒子收集裝置開發及效率測試